URE-2000S/A 型單、雙面

◆ 曝光面積： 1 5 0 mm× 1 5 0 m m

◆ 分辨力： 1 μm（ 膠厚2 m 的正膠）

◆ 對準精度： 3 μm（ 雙面, 片厚0 . 8 m m ） ， 0 . 8 μm（ 單面）

◆ 掩模尺寸： 3 英寸、4 英寸、5 英寸， 7 英寸

◆ 樣片尺寸： 直徑3 0 m m - - 1 5 0 m m

                   厚度0 . 1 m m - - 8 m m

◆ 照明均勻性： 3 . 5 % （ 1 0 0 m m 范圍） 5 . 5 % （ 1 5 0 m m 范圍）

◆ 掩模相對于樣片運動行程： X : 5 m m ; Y : 5 m m ; : 6 度

◆ 汞燈功率： 1 0 0 0 W （ 直流）

◆ 最大膠厚： 4 0 0 m （ S U 8 膠， 用戶提供勻膠顯影條件）

◆ 曝光方式： 定時（ 倒計時方式）

◆ 外形尺寸： 1 4 0 0 m m （ 長） 1 2 0 0 m m ( 寬) 1 8 5 0 m m （高）

（1）曝光頭
◆冷光橢球鏡
◆1000 W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
◆XYZ汞燈調節臺
◆光學系統：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡
1、準直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（100個透鏡）、i線濾
光片、場鏡1、場鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2
◆冷卻風扇

（2）對準工件臺
◆掩模樣片相對運動臺
◆轉動臺
◆樣片調平機構,自動完成
◆樣片調焦機構
◆承片臺4個 （2英寸、3英寸、4英寸，6英寸）
◆掩模夾4個 （3英寸、4英寸、5英寸，7英寸）
◆掩模抽拉式上下機構

（3）對準顯微鏡（可以選擇帶CCD型，目鏡和監視
器可同時觀測）
◆燈源（配備品2只）、 電源
◆雙目雙視場對準顯微鏡主體
◆目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）
◆物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）
◆CCD光學系統（選配件）
◆XYZ底面對準工件臺

（4）底面CCD對準系統
◆光源（配備品2只）、 電源
◆成像光學系統( 2套,20倍放大)
◆數據采集卡
◆CCD

（5）電控系統
◆汞燈觸發電源( 1 0 0 0 W直流汞燈)
◆單片機控制系統
◆控制柜桌
◆計算機系統（19英寸寬屏液晶顯示器）

（6）氣動系統
◆氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等
◆電磁閥驅動
◆氣動儀表

（7）其他附件（選配）
◆真空泵一臺
◆空壓機一臺）
◆恒溫循環水冷卻系統
◆管道

（8）技術資料
◆使用維修說明書