旋涂程序：最多可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒；
轉動速度：300-10,000rpm；
工作臺尺寸：Ф10—Ф120mm（可更換）；
旋涂不均勻性：≤±3%；
工藝時間設定： 0-3000 sec/step，時間設置精度：0.1sec。
