1、 保存：
光刻膠中的光敏組分是非常脆弱的，除了有溫度的要求外，對(duì)于儲(chǔ)存時(shí)間和外包裝材料有很嚴(yán)格的要求。一般使用棕色的玻璃瓶包裝，再套上黑色塑料袋，光刻膠確實(shí)是在半年內(nèi)使用為好。過(guò)期后最好同廠家溝通進(jìn)行調(diào)換，因?yàn)橹挥猩a(chǎn)商知道里面的組分，才能進(jìn)行產(chǎn)品的重新調(diào)整。還有就是光敏組分是廣譜接受光反應(yīng)的，并不是僅僅紫外光能夠使其失效，只是其它波長(zhǎng)光需要的時(shí)間長(zhǎng)而已。
2、 光刻膠的涂布溫度：
光刻膠涂布溫度一般要和你的室溫相同，原因是與室溫相同可以最大減少光刻膠的溫度波動(dòng)，從而減少工藝波動(dòng)。而凈化間室溫一般是23度，所以一般為23度，一般在旋涂的情況下，高于會(huì)中間厚，低于會(huì)中間薄。同時(shí)涂布前，wafer也需要冷板，保證每次涂布wafer的溫度一致。
3、 涂布時(shí)濕度的控制：
現(xiàn)在光刻膠涂覆工段一般都與自動(dòng)純水清洗線連在一起，很多時(shí)候都只考慮此段的潔凈度，而疏忽了該段的濕度控制，使得光刻膠涂覆的良品率比較低，在顯影時(shí)光刻膠脫落嚴(yán)重，起不到保護(hù)阻蝕的效果。
4、 涂膠后產(chǎn)品的放置時(shí)間的控制
在生產(chǎn)設(shè)備出現(xiàn)故障等特殊情況下，涂完光刻膠的產(chǎn)品需要保留，保留的時(shí)間一般不超過(guò)8 小時(shí)，曝光前如已被感（即膠膜已失效），不能作為正品，需返工處理。
5、 前烘溫度和時(shí)間的控制
前烘的目的是促使膠膜內(nèi)溶劑充分揮發(fā)，使膠膜干燥以增強(qiáng)膠膜與基板表面的粘附性和膠膜的耐磨性。曝光時(shí)，掩模版與光刻膠即使接觸也不會(huì)損傷光刻膠膜和沾污掩模膜，同時(shí)只有光刻膠干凈、在曝光時(shí)，光刻膠才能充分地和光發(fā)生反應(yīng)。同時(shí)注意前烘的溫度不能過(guò)高，過(guò)高會(huì)造成光刻膠膜的碳化，從而影響光刻效果。一般情況下，前烘的溫度取值比后烘堅(jiān)膜溫度稍低一些，時(shí)間稍短一些。
6、 顯影條件的控制
顯影時(shí)必須控制好顯影液的溫度、濃度及顯影的時(shí)間。在一定濃度下的顯影液中，溫度和時(shí)間直接影響的速度，若顯影時(shí)間不足或溫度低，則感光部位的光刻膠不能夠完全溶解，留有一層光刻膠，在刻蝕時(shí)，這層膠會(huì)對(duì)膜面進(jìn)行保護(hù)作用，使應(yīng)該刻蝕的膜留下來(lái)。若顯影時(shí)間過(guò)長(zhǎng)或溫度過(guò)高，顯影時(shí)未被曝光部位的光刻膠也會(huì)被從邊緣里鉆溶。使圖案的邊緣變差，再嚴(yán)重會(huì)使光刻膠大量脫落，形成脫膠。