功能材料是指那些具有優良的電學、磁學、光學、熱學、聲學、力學、化學、生物醫學功能，特殊的物理、化學、生物學效應，能完成功能相互轉化，主要用來制造 各種功能元器件而被廣泛應用于各類高科技領域的高新技術材料。MEMS所使用的功能材料大大拓寬了MEMS研究領域，提高和改善了MEMS器件和系統的性 能，對實現特殊器件或者功能性器件做出了重大貢獻。

       一、SOI材料

       SOI （Silicon-on-Insulator）是一類較新的材料和結構 , SOI結構綜合了體硅和SOI材料各自的優點，具有部分絕緣和部分導電的特性。

       二、壓電材料（PZT）

       壓電材料在外界振動激勵作用生形變，引起材料內部應力的變化，其內部電荷發生位移從而產生了電場。因當壓電晶體受到應力作用時，在它某些面上產生電 荷，且應力與面電荷密度之間存在線形關系，這個現象稱為正壓電效應。

       三、（超）磁致伸縮材料

       磁致伸縮是由于材料內部磁化狀態的改變而引起的長度變化，反過來，如果鐵磁材料受到機械力作用時，其內部將產生應變，從而產生應力，將導致磁導率等 磁化狀態發生變化。這是磁致伸縮的逆效應，通常稱為壓磁效應。

       四、鐵電材料

       鐵電材料具有很大的介電常數和壓電系數，鐵電薄膜具有優越的電極化特性、熱釋電效應、壓電效應、聲光效應、電光效應、光折變效應和非線性光學性質等 一系列特殊性質。因鐵電材料是具有特殊極性方向的晶體，由于沒有對稱中心，所以它具有壓電效應。

       五、形狀記憶合金材料（SMA）

       形狀記憶合金是在外場（溫度場或電場）作用下發生馬氏體相變，能恢復大的塑性變形，并且其恢復力可對外做功。

       六、巨磁阻抗材料

       巨磁阻抗效應(GMI)是指通有交流電流的軟磁材料在外磁場的作用下阻抗發生顯著變化的現象。該效應具有靈敏度高、反應快和穩定性好等特點，在傳感 器技術和磁記錄技術中具有應用潛能。

       七、金剛石

       MEMS器件對材料的要求有別于半導體器件，硅基材料的缺點隨著應用范圍擴展而日益顯示，比如硅基材料的抗磨、折彎、韌性差，還特別容易發生結構粘 附現象。