此微泵由儲液管、蓄水池、吸水膜和蒸發孔組成。它以吸水膜所有的毛細作用和蒸發動力相結合作為驅動力。對比其他類型微泵在同一工作日的一般溫濕度波動范圍內，在較長時間內此微泵可提供穩定的μＬ／ｍｉｎ級液體流速。微泵的流速則通過改變蒸發孔的面積或使用風扇可調節。微泵的流速精度一般優于３％ 。

此微泵簡單、造價低、體積小、流速穩定且可以長時間連續使用，以及流速便于調節，運行時間不受限制，任意長（環境的相對濕度＜100％）的優點。