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制作納流控芯片的硅模板法
硅基納米體系研究的基本理念，希望能夠充分利用硅材料所擁有的上述傳
統技術優勢的基礎上，將納米材料的新功能與優勢結合起來，設計并制造出高
度集成的硅基納米器件。硅模板與納流控的結合因其易封合、易制作、內外
表面易于修飾的特點，應用也越來越普遍，研究得越來越深入。
標簽:
納流控芯片
硅模板法
微流控芯片
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更新時間：2015-07-17 15:25:02 【
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納米結構制作的廣泛應用
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