微泵部分由多個氣動閥構(gòu)成。在常規(guī)狀態(tài)下，閥門是敞開的。當(dāng)施加動力時，薄膜在壓力作用下發(fā)生形變，堵塞流體通道，閥閉合；撤銷壓力時，薄膜在自身彈力的作用下回復(fù)原狀，流體通道暢通，閥開啟。

Henares TG, Mizutani F, Hisamoto H (2008) Anal Chim Acta 611:17–30