拋光分為機械拋光和化學拋光兩種:
機械拋光:機械拋光速度慢、成本高,而且容易產生有晶體缺陷的表面。
化學拋光:如銅離子拋光、鉻離子拋光和二氧化硅-氫氧化鈉拋光等,現在一般都采用化學-機械拋光工藝
拋光硅片