三氧化二鋁陶瓷: ——占陶瓷基片材料的90%; ——熱導率不足以滿足大功率集成電路應用。
氮化鋁陶瓷: ——高熱導率(為三氧化二鋁5倍以上),適用于高功率; ——制備工藝復雜,成本高。
氧化鈹陶瓷: ——高導熱、理想高頻特性(適合上天電子設備); ——工藝毒性,成本高。