微閥：凡是能控制微通道閉合和開啟狀態的部件，并具有低泄漏，低功耗，響應快，線性操作等性能，均能作為微流控芯片中的。
       微反應器：是一種單元反應界面為微米級的微型化學反應系統，隨著微反應器線性尺度的減小，對化學反應非常重要的濃度，壓力，密度，溫度等梯度很快得到增加，從而使混合和反應時間縮短到毫秒級以下。
       微混合器：生物樣品分析如DNA雜交，酶反應，蛋白折疊等均涉及到樣品的快速均勻混合，反應物的混合程度直接影響著反應的速率和產物的得率；微通道中通道較短，體積較小，反應時間很短，反應相對難以完成，所以快速均勻混合顯得尤其重要，因此微混合器也就成為微流控集成設計的重要組成部分。