微流控芯片技術是在芯片毛細管電泳基礎上發展起來的，1992年，Manz等采用微電子機械加工技術在平板玻璃上刻蝕微管道，研制出毛細管電泳微芯片分析裝置，實現了熒光標記的氨基酸的分離，開創了微流控芯片技術之先河。

1995年，Wolley和Mathies用自己研制的電泳芯片系統，成功地進行了DNA測序，在540s內讀出了150個堿基，準確率達到97%，微流控芯片的商業開發價值開始顯現。

1996年，Woolley等又將基因分析中有重要意義的聚合酶鏈反應（PCR）與毛細管電泳集成在一起，展示了微全分析系統在試樣處理方面的潛力，從而為微流控芯片在基因分析中的實際應用提供了重要基礎。

1998年，Burns等利用光刻技術制作了1個集nl液體進樣器、混合器、定位系統和可控溫的反應室、電泳分離系統和熒光檢測器系統于一體的微流控芯片，用于DNA分析。

1999年Shi等研制出了96根分離泳道的毛細管陣列電泳芯片，96根泳道呈輻條狀分布在直徑為10cm的基片上，可在2min內同時分離96個pBR322樣品。

2000年，Anderson等研制了一種可用于多樣品的一系列復雜分子處理的高度集成芯片，它能夠從ml級水溶液樣品中提取濃縮核酸，進行微晶化學擴增、酶反應、雜交、混合和測定等，并可進行十幾種反應物的60多個連續操作。

2003年，Forbes雜志將微流控技術評為影響人類未來15件最重要的發明之一。

我國微流控研究起步較晚，經過十幾年的發展，微流控技術已逐漸走向成熟。

國內微流控芯片發展

      大連理工大學的張傳贊等人對帶有十字溝槽的微流控芯片做了研究。臺灣大學的Rean-Der China使用PMMA采用熱壓法和注塑法對微流控芯片進行對比性生產，熱壓法中影響復制質量的兩個關鍵因素是使用的壓力和熱壓溫度。中科院化物所的周小錦等人通過研究，制成PMMA芯片。吉林大學的文偉力在國內外研究現狀和存在問題進行深入分析的基礎上，對芯片的熱模壓工藝、熱鍵合工藝及芯片微通道幾何尺寸檢測等問題進行系統的研究，得出了微通道形狀及尺寸等與工藝條件間的相互關系，為聚合物微流控芯片的制作打下了堅實的基礎。浙江大學，朱迅等人對聚合物微流控芯片的激光加工技術的研究，具體分析了激光加工的特點，數控系統的組成和用戶界面的設計，從聚合物材料特性和激光加工參數選擇兩方面對實驗研究進行詳細論述，為微流控芯片技術研究與產業化奠定基礎。