陽極鍵合是一種比較簡單而有效的永久性封接玻璃片和硅片的鍵合方法，首先被用于含鈉玻璃片和硅片的鍵合。在玻璃片和硅片上施加500~1500V高壓，玻璃片接負極，硅片接正極，當溫度升高到200~500℃時，玻璃片中的鈉離子從玻璃-硅界面向陰極移動，在界面的玻璃一側產生負電荷，硅片一側形成正電荷，正負電荷通過靜電引力結合在一起，促使玻璃片和硅片間的化學鍵合。

       在玻璃表面沉積上一層薄膜材料如多晶硅、氮化硅等作為中間層，在約700V的電場下，升溫到400℃時，可使兩塊玻璃片鍵合。

Via：孫珊