熱膨脹型微閥的原理是，通過對置于腔體內(nèi)部的金屬加熱器加熱，使封閉的腔體膨脹，從而產(chǎn)生彈性膜的向上形變，進(jìn)而堵塞通道，完成流體通道的通斷控制。