URE-2000/25型光刻機

 

       技術特征：

       1、采用多反射鏡實現均勻照明；       
       2、超精密手輪對準調節 
       3、單片機控制,觸摸開關操作；  
       4、高倍率雙目雙視場顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準過程，并提供USB輸出；

       既滿足高精度對準，又可用于檢測曝光結果，且曝光結果和方便存儲；      
       5、曝光波長采用純凈365nm,冷光照明（曝光面能量5mW/cm ，溫度小于35度）；     
       6、手動上下版、樣片，手動調平；手動分離間隙。      
       快門可以單獨開啟，也可以數字設定自動倒計時曝光（設定范圍0.1s-9999s）；    
       7、采用350W進口（德國）直流汞燈，可調節光的能量密度；
       8、整機精度高、性能可靠、操作方便、具有高性價比。  

       技術參數：

       ◆ 曝光面積： 1 0 0 m m × 1 0 0 m m

       ◆ 分辨力： 1 . 2 μm（ 膠厚2 μm的正膠）

       ◆ 對準精度： 0 . 8 μm

       ◆ 掩模樣片整體運動范圍： X ： 6 m m ; Y : 6 m m

       ◆ 掩模尺寸： 2 . 5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

       ◆ 樣片尺寸: 直徑1 5 m m - - 1 0 0 m m ( 可適應非標準片或碎片)

                        厚度0 . 1 m m - - 6 m m

       ◆ 照明均勻性： 4 % （ 1 0 0 m m 范圍）

       ◆ 掩模相對于樣片運動行程： X : 5 m m ; Y : 5 m m ; : 6 度

       ◆ 汞燈功率： 3 5 0 W （ 直流）

       ◆ 曝光波長： 3 6 5 n m

       ◆ 曝光能量密度： 1 5 m W / c m

       ◆ 曝光設定方式： 定時（ 倒計時方式0 . 1 s— 9 9 9 . 9 s ）

       ◆ 外形尺寸： 1 2 0 0 m m （ 長） 9 0 0 m m ( 寬) 1 6 0 0 m m （ 高）

 

       配置

（1）曝光頭

冷光橢球鏡

350W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

XYZ汞燈調節臺

光學系統：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡1、準直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（79個透鏡）、i線濾光片、場鏡1、場鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2

冷卻風扇

（2）對準工件臺

掩模樣片整體運動臺

掩模樣片相對運動臺

轉動臺

樣片調平機構, 手動

樣片調焦機構，手動

承片臺3個（Ø50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm）

掩模夾4個（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）

掩模抽拉式上下機構

（3）對準顯微鏡

光源（配備品2只）、   電源

雙目雙視場對準顯微鏡主體

目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）

物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）

（4）電控系統

汞燈觸發電源(350W直流汞燈)

單片機控制系統

控制箱

（5）氣動系統

氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等

電磁閥驅動

氣動儀表

（6）其他附件

真空泵一臺

空壓機一臺

管道

（7）技術資料

使用維修說明書

顯微鏡使用說明書