1．技術參數
曝光面積：110mm×110mm
分辨力：0.8mm（膠厚2mm的正膠）
對準精度：±1mm
最大焦厚：600mm（SU8膠，用戶提供檢測條件）
曝光波長：365nm
光源平行度：2o
掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm
掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
樣片尺寸：直徑f15mm--f100mm(可適應非標準片或碎片)
厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)
照明均勻性：±3%（f100mm范圍）
掩模相對于樣片運動行程：X:±5mm; Y:±5mm;q:±6度
曝光能量密度：>18mW/cm
汞燈功率：1000W（直流）
曝光設定方式：定時（倒計時方式0.1s-999.9s任意設定）
2．外形尺寸
1400mm（長）′1200mm(寬)′1850mm（高）
3．配置
（1）曝光頭
冷光橢球鏡
1000W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
XYZ汞燈調節臺
光學系統：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡1、準直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（100個透鏡）、i線濾光片、場鏡1、場鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2
冷卻風扇
（2）對準工件臺
掩模樣片整體運動臺
掩模樣片相對運動臺
轉動臺
樣片調平機構,自動完成
樣片自動調焦機構
承片臺4個（?15mm 、2英寸、3英寸、4英寸）
掩模夾4個（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）
掩模抽拉式上下機構
（3）對準顯微鏡及CCD對準系統
光源、電源
雙目雙視場對準顯微鏡主體
目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）
物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）
CCD
21英寸液晶顯示器
（4）電控系統
汞燈觸發電源(1000W直流汞燈)
單片機控制系統
控制柜桌
（5）氣動系統
氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等
電磁閥驅動
氣動儀表
（6）其他附件
真空泵一臺（無油泵）
空壓機一臺（靜音泵）
管道
（7）技術資料
使用維修說明書
顯微鏡使用說明書