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URE-2000/25型光刻機(jī)
技術(shù)特征：
1、采用多反射鏡實(shí)現(xiàn)均勻照明；
2、超精密手輪對(duì)準(zhǔn)調(diào)節(jié)
3、單片機(jī)控制,觸摸開(kāi)關(guān)操作；
4、高倍率雙目雙視場(chǎng)顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時(shí)觀察對(duì)準(zhǔn)過(guò)程，并提供USB輸出；
既滿足高精度對(duì)準(zhǔn)，又可用于檢測(cè)曝光結(jié)果，且曝光結(jié)果和方便存儲(chǔ)；
5、曝光波長(zhǎng)采用純凈365nm,冷光照明（曝光面能量5mW/cm ，溫度小于35度）；
6、手動(dòng)上下版、樣片，手動(dòng)調(diào)平；手動(dòng)分離間隙。
快門可以單獨(dú)開(kāi)啟，也可以數(shù)字設(shè)定自動(dòng)倒計(jì)時(shí)曝光（設(shè)定范圍0.1s-9999s）；
7、采用350W進(jìn)口（德國(guó)）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度；
8、整機(jī)精度高、性能可靠、操作方便、具有高性價(jià)比。
技術(shù)參數(shù)：
◆ 曝光面積： 1 0 0 m m × 1 0 0 m m
◆ 分辨力： 1 . 2 μm（ 膠厚2 μm的正膠）
◆ 對(duì)準(zhǔn)精度： 0 . 8 μm
◆ 掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍： X ： 6 m m ; Y : 6 m m
◆ 掩模尺寸： 2 . 5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
◆ 樣片尺寸: 直徑1 5 m m - - 1 0 0 m m ( 可適應(yīng)非標(biāo)準(zhǔn)片或碎片)
厚度0 . 1 m m - - 6 m m
◆ 照明均勻性： 4 % （ 1 0 0 m m 范圍）
◆ 掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程： X : 5 m m ; Y : 5 m m ; : 6 度
◆ 汞燈功率： 3 5 0 W （ 直流）
◆ 曝光波長(zhǎng)： 3 6 5 n m
◆ 曝光能量密度： 1 5 m W / c m
◆ 曝光設(shè)定方式： 定時(shí)（ 倒計(jì)時(shí)方式0 . 1 s— 9 9 9 . 9 s ）
◆ 外形尺寸： 1 2 0 0 m m （ 長(zhǎng)） 9 0 0 m m ( 寬) 1 6 0 0 m m （ 高）
配置
（1）曝光頭
冷光橢球鏡
350W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)
XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)
光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡1、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（79個(gè)透鏡）、i線濾光片、場(chǎng)鏡1、場(chǎng)鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2
冷卻風(fēng)扇
（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)
掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)
掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)
轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)
樣片調(diào)平機(jī)構(gòu), 手動(dòng)
樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，手動(dòng)
承片臺(tái)3個(gè)（?50mm 、?75mm 、 ?100mm）
掩模夾4個(gè)（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）
掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)
（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡
光源（配備品2只）、 電源
雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體
目鏡3對(duì)（10倍、16倍、20倍，共6個(gè)）
物鏡3對(duì)（4倍、10倍、20倍，共6個(gè)）
（4）電控系統(tǒng)
汞燈觸發(fā)電源(350W直流汞燈)
單片機(jī)控制系統(tǒng)
控制箱
（5）氣動(dòng)系統(tǒng)
氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等
電磁閥驅(qū)動(dòng)
氣動(dòng)儀表
（6）其他附件
真空泵一臺(tái)
空壓機(jī)一臺(tái)
管道
（7）技術(shù)資料
使用維修說(shuō)明書
顯微鏡使用說(shuō)明書