URE-2000/35型光刻機

       ◆ 曝光面積： 1 0 0 m m × 1 0 0 m m （ 可升級1 5 0 m m × 1 5 0 m m ）

       ◆ 分辨力： 1 μm （ 膠厚2 μm 的正膠）

       ◆ 對準精度： 1 μm

       ◆ 掩模樣片整體運動范圍： X ： 6 m m ; Y : 6 m m

       ◆ 掩模尺寸： 2 . 5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

       ◆ 樣片尺寸：直徑1 5 m m - - 1 0 0 m m ( 可適應非標準片或碎片)

                         厚度0 . 1 m m - - 6 m m

       ◆ 照明均勻性： 4 % （ 1 0 0 m m × 1 0 0 m m 范圍）

       ◆ 掩模相對于樣片運動行程： X : 5 m m ; Y : 5 m m ; : 6 o

       ◆ 汞燈功率： 3 5 0 W （ 直流）

       ◆ 曝光波長： 3 6 5 n m

       ◆ 曝光能量密度： > 1 5 m W / c m

       ◆ 曝光方式： 定時（ 倒計時方式0 . 1 s — 9 9 9 . 9 s ）

       ◆ 外形尺寸： 1 2 0 0 m m （ 長） 9 0 0 m m ( 寬) 1 6 0 0 m m （ 高）

       技術配置

       曝光頭

       冷光橢球鏡

       350W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

       XYZ汞燈調節臺

       光學系統：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡1、準直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（79個透鏡，積木錯位排列，專利技術）、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2