Mask Aligner
這是光掩膜上面的圖案被印到半導體用鏡片或玻璃基板上的OpticalLithography設備，可提供應用范圍較廣及優秀的半導體用Tool。可應用于光電子、平板顯示器、RFMicrowave、MEMS(Bio-MEMSand Optical-MEMS)、LED等的精密排序及Patterning。
