產(chǎn)品詳細(xì):
Spin coater是在半導(dǎo)體晶片或基板上, 均勻涂層Photoresist薄膜的設(shè)備,可根據(jù)制造薄膜的基板和溶劑的種類,適用不同的Spin速度和時(shí)間,能均勻涂層至基板的邊緣。