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'關鍵字: LIGA技術'
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LIGA技術
和準
LIGA技術
優缺點對比
?????? 準
LIGA技術
是用紫外光光源來代替
LIGA技術
中的同步輻射X光深層光刻,然后進行后續的微電鑄和微復制工藝。它不需要像
LIGA技術
所需的同步輻射X光光刻...
2014-07-25 09:12:01
微流控芯片發展現狀、材料和制作
璃、石英、硅片上刻蝕出微通道,之后還發展了電感耦合等離子體刻蝕技術,
LIGA技術
等。但是以玻璃、石英、硅片為基質來制作微流控芯片技術工藝復雜、冗長、...
2015-03-02 11:00:24
不同材質PCR微流控芯片對比
PMMA
LIGA技術
熱封接 ...
2014-10-16 11:57:30
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