一般來說線寬的用正膠,線窄的用負(fù)膠! 相對(duì)而言，正性光刻膠比負(fù)性的精度要高，負(fù)膠顯影后圖形有漲縮，負(fù)性膠限制在2~3μm.，而正性膠的分辨力優(yōu)于0.5μm 導(dǎo)致影響精度，正性膠則無這方面的影響。雖然使用更薄的膠層厚度可以改善負(fù)性膠的分辨率，但是薄負(fù)性膠會(huì)影響針孔。同種厚度的正負(fù)膠，在對(duì)于抗?jié)穹ê透g性方面負(fù)膠更勝一籌，正膠難以企及。汶昌科技提供AZ、SU_8、及其他系類光刻膠的供應(yīng)與技術(shù)參數(shù)。
注意事項(xiàng)：
①若腐蝕液為堿性，則不宜用正性光刻膠
②看光刻機(jī)型式,若是投影方式,用常規(guī)負(fù)膠時(shí)氮?dú)猸h(huán)境可能會(huì)有些問題
③負(fù)性膠價(jià)格成本低，正性膠較貴
④工藝方面：負(fù)性膠能很好地獲得單根線，而正性膠可獲得孤立的洞和槽
⑤健康方面：負(fù)性膠為有機(jī)溶液處理，不利于環(huán)境；正性膠屬于水溶液，對(duì)健康、環(huán)境無害
汶昌科技出品光刻膠系列：
