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'關鍵字: 負性光刻膠'
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集成微流控芯片的制備
?;?再將光刻掩膜利用光刻技術將掩膜圖案轉移到涂有光刻膠的硅片上。?以
負性光刻膠
為例?,?需要聚合的區(qū)域通過掩膜的透明部分接受紫外照射后發(fā)生交聯反應而...
2014-08-13 09:57:24
微流控芯片基片圖形光刻的三個步驟
? su 8
負性光刻膠
? ...
2014-08-13 09:33:16
光刻基本操作步驟
? 顯影 目的：將未感光部分的
負性光刻膠
溶除，留下感光部分的膠膜；將感光部分的正性光刻膠?除，留下未感光部分的...
2014-07-01 09:52:21
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