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'關(guān)鍵字: 光刻'
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光刻
膠及
光刻
工藝流程
光刻
膠(Photoresist簡(jiǎn)稱PR)又稱光致抗蝕劑,它是一種對(duì)光敏感的有機(jī)化合物,它受紫外光曝光后,在顯影液的溶解度會(huì)發(fā)生變化。①
光刻
膠作用:將掩...
2017-08-23 10:25:14
光刻
技術(shù)首次繪出銀納米結(jié)構(gòu) 為光學(xué)計(jì)算機(jī)研發(fā)開(kāi)辟新途徑
茨材料和能源研究中心與聯(lián)邦材料測(cè)試與研究機(jī)構(gòu)合作,首次在銀材料底層上完成
光刻
納米結(jié)構(gòu),為未來(lái)光計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理、新型電子器件制造開(kāi)辟了新的途徑。這項(xiàng)成...
2017-08-09 14:34:17
光刻
膠使用過(guò)程中的注意事項(xiàng)
1、?保存:?
光刻
膠中的光敏組分是非常脆弱的,除了有溫度的要求外,對(duì)于儲(chǔ)存時(shí)間和外包裝材料有很嚴(yán)格的要求。一般使用棕色的玻璃瓶包裝,再套上黑色塑料袋,
光刻
膠確實(shí)是...
2016-10-26 08:55:21
光刻
膠及
光刻
工藝流程
? ? ? ?
光刻
膠又稱為光致抗飾劑,它是一種對(duì)光敏感的有機(jī)化合物,受紫外光曝光后,在顯影液中的溶解度會(huì)發(fā)生變化。主要作用是將掩膜板上的圖形轉(zhuǎn)移到晶圓表面頂層的光...
2016-08-23 16:51:39
解析投影式
光刻
機(jī)曝光分類
? ?對(duì)于普通人來(lái)說(shuō),
光刻
機(jī)或許是一個(gè)陌生的名詞,但它卻是制造大規(guī)模集成電路的核心裝備,每顆芯片誕生之初,都要經(jīng)過(guò)
光刻
技術(shù)的鍛造。? ?
光刻
機(jī),又名掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī),
光刻
系...
2016-08-17 16:46:37
URE-2000A型
光刻
機(jī)
?URE-2000A型
光刻
機(jī) ◆ 曝光面積:150mm×150mm ◆ 分辨力:0.8-1μm(膠厚2μm的正膠) ◆ 對(duì)準(zhǔn)精度:0.6μm ◆ 掩模樣片...
2016-04-15 09:09:37
URE-2000S/A型單、雙面
光刻
機(jī)(厚膠型)
URE-2000S/A 型單、雙面 ? ◆ 曝光面積: 1 5 0 mm× 1 5 0 m m ◆ 分辨力: 1 μm( 膠厚2 m 的正...
2016-04-15 09:08:31
URE-2000B型
光刻
機(jī)
?1.技術(shù)參數(shù) ?曝光面積:110mm×110mm ?分辨力:0.8mm(膠厚2mm的正膠) ?對(duì)準(zhǔn)精度:±1mm ?最大焦厚:...
2016-04-14 11:56:23
URE-2000/25型
光刻
機(jī)
? ? ? ?URE-2000/25型
光刻
機(jī) ?? ? ? ?技術(shù)特征: ? ? ? ?1、采用多反射鏡實(shí)現(xiàn)均勻照明;??????? ? ? ? ?2、超精密手輪對(duì)準(zhǔn)調(diào)節(jié)?...
2016-04-14 11:50:39
URE-2000/35型
光刻
機(jī)
? ? ? ?URE-2000/35型
光刻
機(jī) ? ? ? ? ?◆ 曝光面積: 1 0 0 m m × 1 0 0 m m ( 可升級(jí)1 5 0 m m × 1 5 0 m m ...
2016-04-14 11:48:05
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